クラスター分析に基づくウエハーマップの例
この例では、ウエハーに関する不適合データを取り扱います。「X_ダイ」および「Y_ダイ」列にはダイ上の位置、「不適合」列には各位置における不適合の数が含まれています。ダイの不適合は一定のパターンで発生することが多いため、ここではクラスター分析を使用してウエハーを同じような不適合パターンのグループに分けます。その後、各クラスターの不適合パターンを視覚化します。
1. ［ヘルプ］>［サンプルデータライブラリ］を選択し、「Wafer Stacked.jmp」を開きます。
2. 「空間的な不適合データのクラスター分析」スクリプトを実行します。
このスクリプトは、空間的な指標（角度、半径、筋の角度、筋の距離）を含む階層型クラスターモデルをあてはめます。『多変量分析』の空間的な指標 を参照してください。
3. 「階層型クラスター分析」の赤い三角ボタンをクリックし、開いたメニューから［クラスターの保存］を選択します。
7つのクラスターが作成されました。クラスター番号は「Wafer Stacked.jmp」データテーブルの「クラスター」という列に保存されます。
4. 「Wafer Stacked.jmp」に戻ります。
5. ［グラフ］>［グラフビルダー］を選択します。
6. 「X_ダイ」を選択し、「X」ゾーンにドラッグします。
7. 「Y_ダイ」を選択し、「Y」ゾーンにドラッグします。
8. ［平滑線］
の選択を解除し、［点］
を選択します。
9. 「クラスター」を選択し、「段組」ゾーンにドラッグします。
7つのクラスターが作られたため、7つのプロットが表示されます。
10. 「不適合」を選択し、「色」ゾーンにドラッグします。
11. ［ヒートマップ］
をクリックします。
各クラスターの不適合の平均で位置を色分け
このヒートマップは「不適合」の平均数で色分けされています。
12. 凡例の色のバーを右クリックし、［グラデーション］を選択します。
13. 「スケールタイプ」で「対数」を選択します。
このスケールは「不適合」の対数に対して線形です。「不適合」の分布はかなり歪んでいるため、対数スケールに設定することで変化のパターンは強調されますが、元のスケールのように値の大小を簡単に比較することはできなくなります。
14. ［OK］をクリックします。
15. （オプション）［終了］をクリックします。
ウエハークラスターのヒートマップ
このプロットは不適合のさまざまなパターンを示しています。これらと同じプロットは「階層型クラスター分析」レポートの「クラスター要約」アウトラインにも表示されます。