공정 변수 선별의 예
128개의 공정 측정값 열이 포함된 데이터 테이블에서 불안정한 공정을 식별하는 데 관심이 있습니다. 각 열에는 "규격 한계" 열 특성이 포함되어 있습니다. 공정이 안정적이면 공정 능력을 계산하는 것이 적절합니다.
1. 도움말 > 샘플 데이터 폴더를 선택하고 Semiconductor Capability.jmp를 엽니다.
2. 열 > 열 관리자를 선택합니다.
3. "열 관리자" 보고서에서 Processes (128/0) 옆의 회색 삼각형을 선택하여 그룹화된 공정 열을 표시합니다.
"열 관리자" 보고서에서 모든 공정 열에 대한 요약 통계량과 분포를 빠르게 확인할 수 있습니다. 보고서 테이블을 스크롤하면 일부 열의 최소값과 최대값이 동일하며, 이는 해당 열의 항목이 상수임을 나타냅니다. 이러한 열은 분석에 포함하지 않으려고 합니다.
4. "열 관리자" 보고서에서 Processes (128/0)를 클릭하여 테이블의 모든 연속형 변수를 선택합니다.
5. "열 관리자" 보고서의 테이블에서 VPM1, VPM2, PMS1, SNM1, PNP6, VPM4, VPM6, VPM9, P1, M1을 선택 취소합니다. 이 테이블에서 선택한 열은 데이터 테이블에서 선택된 열에 해당합니다.
팁: 열을 선택 취소하려면 Ctrl 키를 누른 채 테이블에서 열 이름을 클릭합니다.
6. 데이터 테이블에서 분석 > 품질 및 공정 > 공정 변수 선별을 선택합니다.
7. 공정 변수를 클릭합니다. 그러면 데이터 테이블에서 이미 선택된 열이 공정 변수로 할당됩니다.
"관리도 유형"이 "I-MR"로 설정되어 있습니다.
8. 확인을 클릭합니다.
그림 8.2 초기 보고서(일부)
각 공정에 대한 결과 테이블을 보여 주는 "공정 변수 선별" 창이 나타납니다. 테이블은 "안정성 지수"를 기준으로 정렬됩니다. 이것은 공정 안정성을 나타내는 측도이며, 안정적인 공정의 안정성 지수는 1에 가깝습니다. 안정성 지수의 값이 높을수록 공정이 덜 안정적임을 나타냅니다. 보고서의 "안정성 지수" 옆에 캐럿이 표시되어 정렬을 나타냅니다. 안정성 지수 값이 1.03 이상인 공정을 자세히 살펴보려고 합니다.
9. 보고서 창에서 IVP8 ~ IVP9 공정을 선택합니다.
이러한 처음 10개 공정은 각각 "안정성 지수" 열의 값이 1.03 이상입니다.
10. 선택한 공정을 마우스 오른쪽 버튼으로 클릭하고 선택 항목에 대한 차트 표시를 선택합니다.
그림 8.3 경보 비율이 가장 높은 공정에 대한 차트
IVP8("선택 항목에 대한 차트"의 1행, 1열)을 자세히 살펴보기로 했습니다.
11. 요약 테이블에서 IVP8에 해당하는 첫 번째 공정을 선택합니다.
12. 선택한 공정을 마우스 오른쪽 버튼으로 클릭하고 선택한 항목에 대한 관리도를 선택합니다.
그림 8.4 IVP8에 대한 관리도 빌더 보고서
"관리도 빌더" 보고서가 나타납니다. IVP8에 "규격 한계" 열 특성이 있으므로 보고서에 공정 능력 분석도 포함됩니다.