계층적 군집화 플랫폼에서 "공간 측도 추가" 옵션을 사용하려면 데이터가 쌓여 있고, 공간 좌표에 해당하는 두 개의 속성 열이 포함되어 있어야 합니다. 일부 공간 측도는 Hough 변환을 사용하여 생성됩니다. 자세한 내용은 White et al. (2008) 및 Ballard(1981) 연구 자료에서 확인하십시오. 자세한 내용은 공간 측도를 사용한 웨이퍼 결함 분류의 예에서 확인하십시오.
시작 창에서 다음을 수행하면 "공간 성분 선택" 창이 나타납니다.
• 데이터 구조를 "쌓인 데이터"로 선택
• 공간 좌표에 해당하는 두 개의 열을 "속성 ID"로 지정
• "개체 ID" 지정
• "공간 측도 추가" 선택
"공간 성분 선택" 창에서 군집 분석에 사용할 공간 성분을 선택하고 가중치를 지정합니다. 이러한 성분은 군집 분석에 사용되는 변수를 생성하는 데 사용됩니다. 각 개체에 대한 행이 있는 새 테이블이 열립니다. 이 테이블에는 각 개체에 대해 계산된 공간 성분이 포함되어 있습니다.
변수
군집 분석에서 생성 및 사용되는 변수 유형입니다. 변수는 공간 성분과 반응 Y를 사용하여 생성됩니다.
속성
각 개체에 대해 두 개의 "속성 ID" 변수로 정의된 각 위치에서 계산된 Y 변수의 값입니다.
각도, 파이
파이 모양 또는 반구체 모양을 반영하는 변수입니다.
반지름, 원
원형 모양을 반영하는 변수입니다.
스트릭 각도
동일한 각도의 스트릭을 반영하는 변수입니다.
스트릭 위치
동일한 공간 위치의 스트릭을 반영하는 변수입니다.
샷(shot) 내의 위치
샷(shot)에서 다이 위치를 기반으로 하는 변수입니다. "샷(shot) 내의 위치" 변수는 "ShotPos[vShotSize, hShotSize]"로 표시되며, 여기서 vShotSize와 hShotSize는 정의된 세로 및 가로 샷(shot) 크기입니다.
샷(shot)
개체가 있는 직사각형을 식별하는 변수이며, 직사각형에 있는 개체의 가로 및 세로 위치 수를 지정합니다. 샷(shot)이라는 용어는 반도체 웨이퍼 데이터에서 웨이퍼 전체에 대해 함께 이미징되는 다이를 식별하기 위해 사용됩니다.
"샷(shot) 가로 크기" 및 "샷(shot) 세로 크기"에 값을 입력합니다. 가로 샷(shot) 크기를 4로 지정하고 세로 샷(shot) 크기를 5로 지정하면 한 샷(shot)에 최대 20개의 다이가 있음을 나타냅니다. 생성되는 총 식별자 수는 다음과 같이 계산됩니다.
floor[(hSize+hShotSize-1)/hShotSize]* floor[(vSize+vShotSize-1)/vShotSize]
여기서 hSize와 vSize는 각각 최대 가로 위치 수와 최대 세로 위치 수이며, hShotSize = 샷(shot) 가로 크기이고 vShotSize = 샷(shot) 세로 크기입니다.
참고: 샷(shot) 변수는 "Shot[vert, horiz]"로 표시되며, 여기서 vert와 horiz는 각각 세로 및 가로 다이 위치를 나타냅니다.
개수
주어진 유형으로 생성되는 총 변수 수입니다.
가중치
군집을 결정하는 데 사용되는 주어진 유형의 변수에 대한 중요도 측도입니다.
"공간 성분 선택" 창에서 "확인"을 클릭하면 두 개의 창이 나타납니다.
쌓인 데이터와 두 개의 속성 ID를 사용하여 분석을 수행하면 "군집 요약" 보고서에 Y 변수의 공간 맵이 표시됩니다. 각 그림은 "속성 ID" 변수로 정의된 각 위치에 대한 군집 평균을 표시하는 2차원 그림입니다. 이 그림에는 파랑-회색-빨강 색상 그래디언트와 분위수 척도가 사용됩니다. 분위수 척도를 사용하면 이상치로 인한 영향이 줄어듭니다.
공간 측도 데이터 테이블에는 고유한 각 개체 ID에 대한 행이 있습니다. 열은 Y 변수를 나타내기 위해 파랑-회색-빨강 기본 색상 그래디언트를 사용하여 표시됩니다. 이 테이블에는 다음 열이 포함됩니다.
Object
두 개의 "속성 ID" 변수로 정의된 각 공간 위치에서 Y 변수의 히트맵을 표시하는 표현식 열입니다.
Hough
각 개체에 대한 Hough 공간의 히트맵을 표시하는 표현식 열입니다. 자세한 내용은 White et al. (2008) 연구 자료에서 확인하십시오.
공간 측도
각 개체에 대해 계산된 값을 표시하는 각 공간 측도의 열입니다. 셀은 값에 따라 색상이 지정됩니다.