发布日期: 04/13/2021

空间测度

要使用“添加空间测度”选项,您的数据必须被堆叠并且包含两个对应于空间坐标的特性列。某些空间测度使用 Hough 变换构造。请参见 White et al. (2008) 和 Ballard (1981)。请参见使用“空间测度”进行晶片次品分类的示例

“选择空间成分”窗口

若您在启动窗口中执行以下操作,则会显示“选择空间成分”窗口:

选择“数据被堆叠”数据结构

指定对应于空间坐标的两列作为“特性 ID”

指定“对象 ID”

选择“添加空间测度”

在“选择空间成分”窗口中,您选择并权衡用于聚类分析的空间成分。这些成分用于构造聚类分析中使用的变量。随即打开一个新表,其中每个对象对应一行。该表包含每个对象的计算空间成分。

变量

聚类分析中构造并使用的变量类型。使用空间成分和响应 Y 构造变量。

特性

对于每个对象,针对每个位置(由两个“特性 ID”变量定义)计算的 Y 变量的值。

角度,饼图

反映楔形或半球形的变量。

半径,圆圈

反映圆形的变量。

条纹角度

反映具有相同角度的条纹的变量。

条纹位置

反映具有相同空间位置的条纹的变量。

曝光区中的位置

基于曝光区中裸片位置的变量。“曝光区中的位置”变量表示为 ShotPos[vShotSize, hShotSize],其中 vShotSize 和 hShotSize 分别为定义的垂直和水平曝光区大小。

曝光区

标识对象所在矩形的变量,您可以指定对象在矩形中的水平位置和垂直位置数。术语曝光区用于半导体晶片数据中,以标识晶片上哪些裸片在一起成像。

输入“曝光区水平大小”和“曝光区垂直大小”的值。将水平曝光区大小指定为 4,垂直曝光区大小指定为 5,这样指示曝光区中最多有 20 个裸片。创建的总标识符数如下所示:

floor[(hSize+hShotSize-1)/hShotSize]* floor[(vSize+vShotSize-1)/vShotSize]

其中 hSize 和 vSize 分别是水平和垂直最大位置数,hShotSize = 曝光区水平大小,vShotSize = 曝光区垂直大小。

注意:曝光区变量表示为 Shot[vert, horiz],其中 vert 和 horiz 分别表示垂直和水平裸片位置。

数目

构造的给定类型的总变量数。

权重

用于确定聚类的给定类型的变量的重要性测度。

空间测度报表

当您在“选择空间成分”窗口中点击“确定”时,会出现两个窗口。

“层次聚类”报表

当您使用堆叠数据和两个特性 ID 执行分析时,“聚类汇总”报表显示 Y 变量的空间映射。每个图都是一个二维图,显示由“特性 ID”变量定义的每个位置的聚类均值。该图使用具有分位数尺度的“由蓝经灰到红”颜色梯度。使用分位数尺度可减轻离群值的影响。

空间数据表

空间测度的数据表为每个唯一对象 ID 提供一行。使用“由蓝经灰到红”默认颜色梯度显示列以表示 Y 变量。该表包含以下列:

对象

显示每个空间位置(由两个“特性 ID”变量定义)处的 Y 变量的热图的表达式列。

Hough

显示每个对象的 Hough 空间的热图的表达式列。请参见 White et al. (2008)。

空间测度

显示每个对象的计算值的每个空间测度对应的列。单元格按值着色。

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