过程历史分析器的示例

使用“过程历史分析器”可调查经历复杂制造工艺的晶圆良率。

1. 选择帮助 > 样本数据文件夹，然后打开 Quality Control > Lot Wafer History.jmp 和 Quality Control > Lot Wafer Yield.jmp。

Lot Wafer History.jmp 包含 50 个批次中 25 个晶圆的分步历史记录。Lot Wafer Yield.jmp 包含每批中每个晶圆的良率。

2. 从 Lot Wafer History.jmp 数据表中，选择分析 > 筛选 > 过程历史分析器。

3. 选择批和晶圆，然后点击 ID。

4. 选择工具和路线，然后点击 X，过程。

5. 选择层和操作，然后点击步骤。

6. 选择开始时间和停止时间，然后点击时间戳。

7. 点击确定。

随即显示一个窗口，支持您选择相应的良率表。

8. 选择 Lot Wafer Yield，然后点击确定。

随即显示一个窗口，支持您选择良率列。

9. 选择良率并点击确定。

10. 点击“过程历史分析器”红色小三角并选择具有最低良率的水平。

图 27.2 “过程历史分析器”报表 

该报表包含有关过程的信息，其中包括 X 列中的单元、步骤、操作和水平的数目。“具有最低产量的水平”表包含关于 X 列中 195 个水平的计数和产量信息。请注意，PlanarTool008 工具具有最低良率，有 1,000 个单元使用了该工具。

需要更多信息？有问题？从 JMP 用户社区得到解答 (community.jmp.com).