「Probe.jmp」サンプルデータには、5800個の半導体ウエハについて測定された、387個の変数（「Responses」列グループ）が含まれています。「ロットID」列と「ウエハ番号」列は、一意にウエハを識別します。ここでの目的は、データのいくつかの列を調べて、外れ値を識別することです。「外れ値を調べる」ユーティリティを使って外れ値を識別し、その後「一変量の分布」プラットフォームを使って分析してみましょう。
|
1.
|
［ヘルプ］>［サンプルデータライブラリ］を選択し、「Probe.jmp」を開きます。
|
|
2.
|
［分析］>［スクリーニング］>［外れ値を調べる］を選択します。
|
|
3.
|
図3.2 「外れ値を調べる」起動ウィンドウ
|
4.
|
［OK］をクリックします。
|
|
5.
|
［分位点範囲の外れ値］をクリックします。
|
|
6.
|
|
8.
|
［「欠測値のコード」に最大「9」を追加］をクリックします。
|
元のデータを残したい場合には、［名前を付けて保存］コマンドを使って新しいファイル名で保存するように促す警告ダイアログが表示されます。
|
9.
|
［OK］をクリックします。
|
|
10.
|
「分位点範囲の外れ値」レポートで、［再スキャン］をクリックします。
|
|
11.
|
［検索を整数に限定］チェックボックスをオンにします。
|
|
12.
|
［検索を整数に限定］の選択を解除します。
|
|
2.
|
［行の選択］をクリックします。
|
|
3.
|
［分析］>［一変量の分布］を選びます。
|
|
4.
|
先ほど選択した列を［Y, 列］の役割に割り当てます。「分位点範囲の外れ値」レポートでこれらの列を選択していたので、「一変量の分布」起動ウィンドウでもこれらの列がすでに選択されています。
|
|
5.
|
［OK］をクリックします。
|
外れ値が選択された列の分布に、作成されるレポートの一部を示します。
図3.3 外れ値が選択された列の分布
「VDP_M1」列と「VDP_PEMIT」列では、選択された外れ値のいくつかは大半のデータに幾分近いものとなっています。その他の列では、選択された外れ値は十分に離れており、分析から除外しても良さそうです。
|
1.
|
|
2.
|
残りの列は選択されたままにして、［行の除外］をクリックします。
|
|
4.
|
［再スキャン］をクリックします。
|
|
5.
|
|
2.
|
「分位点範囲の外れ値」レポートで、［行の除外］をクリックします。
|
|
4.
|
［やり直し］>［分析のやり直し］を選択します。
|
外れ値が除外された列の分布に、作成されるレポートの一部を示します。
図3.4 外れ値が除外された列の分布
