公開日: 11/25/2021

[1標本標準偏差]の例

メモ: ここでは、NIST(米国国立標準技術研究所)のオンラインマニュアルの例を使用します。NISTのマニュアルは、http://www.itl.nist.gov/div898/handbook/prc/section2/prc232.htmで入手できます。

あるシリコンウエハーのロットにおける抵抗率の分散は、公称値が100Ω平方cmです。ある顧客は、納品されるロットの分散を155Ω平方cm以下に抑えることを要求しています。55Ω平方cmだけずれたときに、目標値である100Ω平方cmに対する検定が高い確率で有意になるには、何個のウエハーをテストしなければならないでしょうか。仮説の標準偏差(σ0)は10(100の平方根)、対立仮説での標準偏差は12.4499(100 + 55 = 155の平方根)です。つまり、「検出する差」は12.4499 - 10 = 2.4499です。検出力は0.99、有意水準は0.05とします。

1. [実験計画(DOE)]>[計画の診断]>[標本サイズ/検出力]を選択します。

2. [1標本標準偏差]をクリックします。

3. 「Alpha」はデフォルトの「0.05」のままにしておきます。

4. 「帰無仮説の標準偏差」として「10」を入力します。

5. 「対立仮説の方向」で[大きい]を選択します。

6. 「検出する差」として「2.4499」を入力します。

7. 「標本サイズ」は空白にします。

8. 「検出力」として「0.99」を入力します。

9. [続行]をクリックします。

図17.11 [1標本標準偏差] 

One-Sample Standard Deviation Calculator

「母標準偏差が10に等しい」という帰無仮説を有意水準5%において検定するとき、母標準偏差がその帰無仮説の値より2.4499ずれた場合に99%の確率でその検定が有意になるには、171個のウエハーを用いる必要があります。

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