공정 기록 탐색기 플랫폼 옵션
"공정 기록 탐색기"의 빨간색 삼각형 메뉴에는 다음 옵션이 포함되어 있습니다.
최저 수율 수준
각 X, 공정 변수의 각 수준에 대한 수율 요약 통계량 테이블을 표시하거나 숨깁니다. 각 수준에 대해 제공되는 요약 통계량은 작업 수와 수율의 평균, 표준 오차 및 표준편차입니다. 기본적으로 이 테이블은 평균 수율에 따라 오름차순으로 정렬됩니다.
시간 필터를 사용한 최저 수율 수준
수율이 가장 낮은 상위 50개 수준의 시간 구간에 대한 요약 통계량 테이블을 표시하거나 숨깁니다. 이 루틴은 구간 내 평균 수율을 최소화하는 "최저 수율 수준" 테이블에서 상위 50개의 각 수준에 대한 시간 구간을 검색합니다. 각 구간은 해당 수준의 작업을 25% 이상 포함해야 합니다. 각 수준에 대해 제공되는 요약 통계량은 식별된 구간의 작업 수, 식별된 구간의 평균 수율, 수준의 첫 번째 작업과 마지막 작업에 대한 타임스탬프(첫 번째 시간, 마지막 시간), 식별된 구간의 첫 번째 작업과 마지막 작업에 대한 타임스탬프(런시작 시간, 런종료 시간)입니다.
단계별 회귀
단계별 회귀 분석을 위한 옵션을 지정할 수 있는 "단계별 회귀" 창을 표시합니다. 단계별 회귀를 사용하여 공정에서 수율 감소의 원인이 되는 문제를 찾을 수 있습니다. 각 회귀 단계에서 음수 수율이 가장 큰 항에 따라 항이 입력됩니다. 이렇게 하면 수율에 가장 큰 영향을 미치는 공정 단계를 식별하는 데 도움이 됩니다. 단계별 회귀는 각 회귀 단계에서 항이 모형에 입력된 순서를 보여 주는 테이블을 제공합니다.
참고: 시작 창에서 "목표: Y 최소화" 옵션을 선택한 경우에는 단계별 회귀가 수율 증가의 원인이 되는 항을 감지하도록 조정됩니다.
목표
단계별 회귀 모형에 사용되는 기준을 지정합니다. "최대 개별 차이" 옵션은 개별적으로 수율을 가장 많이 변경시키는 항을 식별합니다. "최대 전체 차이" 옵션은 전체 차이(차이에 영향을 받는 유닛 수를 곱한 값)를 가장 크게 만드는 항을 식별합니다. "일반적 예측" 옵션은 기존의 단계별 회귀 모형을 생성합니다.
시간 필터링
단계별 회귀 모형에서 성분의 시작 시간을 사용할 수 있습니다. "없음" 옵션을 선택하면 전체 기간에 대한 평균이 시간으로 사용됩니다. "시작 시간" 옵션을 선택하면 특정 시작 시간에 성분이 실패할 수 있습니다. 시작 시간은 음수 수율 효과를 최대화하는 시간입니다. "시작 시간" 옵션을 선택하면 "단계별 회귀" 보고서 테이블에 "시작 시간" 열이 포함됩니다.
X 변환
단계별 회귀에서 X, 공정 변수에 대해 일반 개수 데이터 또는 로그(개수+1) 데이터를 사용할 수 있습니다. "로그(개수+1)" 옵션은 빈도 수가 높으면 회귀 분석에서 선형 영향력이 적도록 회귀 분석의 변수를 변환합니다. "없음" 옵션을 선택하면 높은 빈도 수가 회귀 분석에서 선형 영향력을 가집니다.
회귀 단계 수
단계별 회귀 분석의 단계 수입니다. 기본값은 10입니다.
그림 27.4 단계별 회귀 창
대기 시간 분석
(타임스탬프 변수를 두 개 지정한 경우에만 사용 가능) 각 고유 ID는 한 번에 하나의 단계 수준만 진행할 수 있습니다. 또한 각 단계는 한 번에 하나의 ID만 처리할 수 있습니다. 대기 시간 분석은 각 ID에 대한 대기 시간 요약 통계량 테이블을 제공합니다. 이 테이블에서 대기 시간은 ID가 한 단계에서 완료된 후 다른 단계를 시작할 때까지의 시간입니다. 다른 대기 시간 분석 테이블도 제공됩니다. 이러한 테이블에는 각 단계 변수의 수준 내에서 각 ID에 대한 대기 시간 요약 통계량이 포함됩니다. 각 테이블에서 대기 시간은 ID가 단계 변수의 특정 수준에서 완료된 후 동일한 수준을 다시 진행할 때까지의 시간입니다. 이 테이블에는 다음 통계량이 제공됩니다.
대기 시간 합계
주어진 ID 및 단계 변수 수준 조합에 대한 대기 시간의 합입니다.
대기 시간 개수
주어진 ID 및 단계 변수 수준 조합에 대한 대기 시간의 수입니다.
평균 대기 시간
주어진 ID 및 단계 변수 수준 조합에 대한 대기 시간의 평균입니다.
최대 대기 시간
주어진 ID 및 단계 변수 수준 조합에 대한 최대 대기 시간입니다.
전환 분석
결과 수율에 문제가 되는 성분 간 전환을 식별하는 데 유용한 보고서를 표시합니다. 이 보고서는 공정에서 정렬 및 등록 문제를 식별하는 데 도움이 될 수 있습니다. 예를 들어 공정 열의 일부 수준이 해당 공정 열의 다른 수준에 대해 정렬되지 않았을 수 있습니다. 전환 문제가 있으면 특정 수준을 반복하는 항목이 공정 열의 여러 수준을 거치는 항목보다 수율이 더 높을 것으로 기대할 수 있습니다.
이 옵션을 선택하면 분석에 포함할 하나 이상의 X, 공정 열과 각 열에서 하나 이상의 수준을 선택해야 합니다. 분석을 위해 지정한 각 열에 대해 네 개의 테이블이 포함된 보고서가 나타납니다. 첫 번째 테이블에는 열의 특정 수준에서 열의 다른 특정 수준으로 전환하는 경우의 수율과 개수가 표시됩니다. 두 번째 테이블에는 열의 특정 수준에서 외부로 전환하는 경우의 수율과 개수가 표시됩니다. 세 번째 테이블에는 열의 특정 수준으로 전환하는 경우의 수율과 개수가 표시됩니다. 네 번째 테이블에는 유닛이 열의 특정 수준을 반복하는 전환에 대한 수율과 개수가 표시됩니다.
순서 교호작용
(시작 창에서 순서 변수를 지정한 경우에만 사용 가능) 순서 열을 기준으로 수율에 대한 일원 분석 보고서를 표시합니다. 각 X, 공정 열에 대한 테이블이 보고서에 포함됩니다. 각 테이블에서 공정 열의 수준이 해당 분산 분석 모형의 LogWorth 값에 따라 내림차순으로 나열되어 있습니다. 이 테이블에는 공정 열의 각 수준에 대한 p 값과 히트맵도 포함됩니다.
개수 테이블 저장
X, 공정 변수의 각 수준을 거친 유닛 수가 포함된 새 데이터 테이블을 저장합니다. 개수 테이블에는 ID 값에 의해 결정되는 각 고유 유닛에 대한 행이 있습니다.
로그 개수 테이블 저장
로그(개수+1) 항목을 제외하고 개수 테이블과 동일한 형식의 새 데이터 테이블을 저장합니다.
대기 시간 저장
(타임스탬프 변수를 두 개 지정한 경우에만 사용 가능) 대기 시간 분석 보고서의 각 테이블을 별도의 데이터 테이블에 저장합니다.