공정 기록 탐색기

복잡한 공정 기록에서 문제 성분 식별

공정 기록 탐색기는 반도체 공장과 같이 도구 또는 경로 조합에 결함이 있으면 수율과 품질이 저하될 수 있는 복잡한 제조 환경에서 유용합니다. 하나의 유닛에 서로 다른 여러 도구를 포함하는 수백 개의 단계를 거쳐야 할 수 있습니다. 낮은 수율의 원인이 되는 정확한 요인 조합을 판별하기 어려울 수 있습니다.

공정 기록 탐색기에서는 모든 생산 추적 데이터를 정리하고 낮은 수율과 관련된 것으로 보이는 요인을 식별할 수 있습니다. 그런 다음 단계별 회귀를 수행할 수 있습니다. 공정에서 단계 또는 도구 사이의 유닛 대기 시간을 분석하고 이러한 대기 시간이 수율과 어떤 관련이 있는지 확인할 수 있습니다. 또한 다른 도구로의 전환이 수율에 미치는 영향을 분석할 수도 있습니다.

참고: 공정 기록 탐색기 플랫폼은 시험용입니다. 향후 릴리스에서 변경될 수 있습니다.

그림 27.1 공정 기록 탐색기 보고서 

목차

공정 기록 탐색기의 예

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데이터 형식

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