“Pareto 图”平台示例
在本例中，您可以确定在集成电路制作过程中哪些因子对过程失败的影响最大。数据中包含故障缺陷的类型，以及每种类型缺陷出现的次数。
1. 选择帮助 > 样本数据文件夹，然后打开 Quality Control/Failure.jmp。
2. 选择分析 > 质量和过程 > Pareto 图。
3. 选择失败并点击 Y，原因。
该列列出失败原因。它是您要检查的变量。
4. 选择数量并点击频数。
该列列出每种类型的失败出现的次数。
5. 点击确定。
图 15.2 “Pareto 图”报表窗口
左轴表示失败计数，右轴表示每一类别中的失败百分比。直条采用降序排序，出现最频繁的失败原因位于左侧。曲线从左到右指示累积失败情况。
6. 点击“图”红色小三角并选择累积百分比 > 添加累积百分比点标签。
请注意，“Contamination”占失败总数的 45% 左右。“Oxide Defect”直条上方的点显示“Contamination”和“Oxide Defect”合起来共占了失败总数的 71% 左右。
7. 点击“图”红色小三角并取消选择累积百分比 > 添加累积百分比点标签。
8. 点击“图”红色小三角并取消选择累积百分比 > 显示累积百分比曲线。
9. 点击标记为数量的垂直轴的标签，并将其重命名为计数。
10. 双击垂直轴以显示 Y 轴设置窗口。
‒ 在最大值字段中，键入 15。
‒ 在增量字段中，键入 2。
‒ 在轴标签行面板中，为主网格线选择网格线。
‒ 点击确定。
图 15.3 带有显示选项的 Pareto 图
Figure 15.3 显示不同类型的失败计数，且类别标记在水平轴上。垂直计数轴的尺度经过调整，在主刻度标处显示网格线。
11. 要以饼图形式显示数据，请点击“图”红色小三角并选择 Pareto > 饼图。
图 15.4 显示为饼图的 Pareto 图
很明显，“Contamination”和“Oxide Defect”是失败的主要原因。