凡例には、色を塗られた各領域に対する説明が記載されています。いずれかの工程で上側仕様限界または下側仕様限界を欠いている場合、これらの工程で使用されるマーカーも凡例で説明されます。凡例にマーカーに対する説明がない場合は、プロットされているすべての工程に下側仕様限界と上側仕様限界があります。第 “仕様限界が片側の場合、またはない場合”を参照してください。
図11.18 工程性能プロット
工程性能プロットは、「Semiconductor Capability.jmp」サンプルデータで「ウエハー」をサブグループ変数とした場合の、いくつかの工程変数に対する工程性能プロットの正規化箱ひげ図です。