この例では、ウエハーに関する不適合データを取り扱います。「X_ダイ」および「Y_ダイ」列にはダイ上の位置、「不適合」列には各位置における不適合の数が含まれています。ダイの不適合は一定のパターンで発生することが多いため、ここではクラスター分析を使用してウエハーを同じような不適合パターンのグループに分けます。その後、各クラスターの不適合パターンを視覚化します。
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1.
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［ヘルプ］>［サンプルデータライブラリ］を選択し、「Wafer Stacked.jmp」を開きます。
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2.
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「空間的な不適合データのクラスター分析」スクリプトを実行します。
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このスクリプトは、空間的な指標（角度、半径、筋の角度、筋の距離）を含む階層型クラスターモデルをあてはめます。詳細については、『多変量分析』の「階層型クラスター分析」章を参照してください。
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3.
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「階層型クラスター分析」の赤い三角ボタンをクリックし、開いたメニューから［クラスターの保存］を選択します。
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4.
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「Wafer Stacked.jmp」に戻ります。
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5.
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［グラフ］>［グラフビルダー］を選択します。
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6.
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「X_ダイ」を選択し、「X」ゾーンにドラッグします。
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7.
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「Y_ダイ」を選択し、「Y」ゾーンにドラッグします。
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の選択を解除し、［点］
を選択します。|
9.
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「クラスター」を選択し、「段組」ゾーンにドラッグします。
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10.
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「不適合」を選択し、「色」ゾーンにドラッグします。
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をクリックします。
図4.31 各クラスターの不適合の平均で位置を色分け
このヒートマップは「不適合」の平均数で色分けされています。
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12.
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凡例の色のバーを右クリックし、［グラデーション］を選択します。
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13.
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「スケールタイプ」で「対数」を選択します。
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このスケールは「不適合」の対数に対して線形です。「不適合」の分布はかなり歪んでいるため、対数スケールに設定することで変化のパターンは強調されますが、元のスケールのように値の大小を簡単に比較することはできなくなります。
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14.
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［OK］をクリックします。
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15.
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（オプション）［終了］をクリックします。
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図4.32 ウエハークラスターのヒートマップ
